1- التعريف الأساسي وقيمة العملية

ال آلة تغليف رقائق السيليكون شبه الأوتوماتيكية هو جهاز ربط دقيق مصمم خصيصًا لرقائق أشباه الموصلات. يُنجز بشكل أساسي عمليات الربط والتثبيت والقطع الدقيقة للرقائق وأغشية القطع/الحماية، مما يوفر دعمًا ثابتًا لعمليات الترقيق والتقطيع وفصل الرقائق اللاحقة. وتتجلى القيمة التكنولوجية الأساسية في ثلاثة جوانب:

حماية السطح: عزل الخدوش والتلوث والأكسدة، وحماية بنية الدائرة الأمامية/الخلفية للرقاقة؛

تثبيت العملية: قم بتثبيت الرقاقة بإحكام على الإطار المعدني لمنع تناثر الرقائق وإزاحتها أثناء القطع؛

الانتقاء التكيفي: يدعم ربط الأغشية المضادة للالتصاق بالأشعة فوق البنفسجية، مع تقليل الالتصاق بعد التعرض للأشعة فوق البنفسجية، مما يجعل من السهل التقاط الرقائق دون إتلافها.

بالمقارنة مع تطبيق الفيلم اليدوي البحت، فإنه يقضي على العيوب مثل الفقاعات والتجاعيد وعدم المحاذاة؛ وبالمقارنة مع آلات لصق الأفلام الأوتوماتيكية بالكامل، فإنه يتميز بحجم أصغر واستثمار أقل ومرونة في التبديل، وهو مناسب لأنواع متعددة وإنتاج دفعات صغيرة.

2- وحدات المكونات الرئيسية

طاولة عمل الامتزاز الفراغي: يعمل الفراغ على تثبيت الرقائق لضمان عدم حدوث إزاحة أثناء عملية الربط، مما يدعم التبديل السريع بين أحجام متعددة مثل 4/5/6/8 بوصات؛

نظام نقل المواد الغشائية: سحب الفيلم الأوتوماتيكي، والتحكم في الشد، مناسب للمواد الاستهلاكية الشائعة الاستخدام مثل الفيلم الأزرق، وفيلم الأشعة فوق البنفسجية، وفيلم التحلل الحراري، وما إلى ذلك؛

آلية ربط مرنة: ضغط أسطوانة/وسادة هوائية مضادة للكهرباء الساكنة، ضغط قابل للتعديل خطيًا، مما يحقق ربطًا خاليًا من الفقاعات والخدوش؛

وحدة القطع والاستلام: قطع الفيلم الأوتوماتيكي باستخدام سكين دائري/زنبركي، ولف الفيلم التالف وورق العزل بشكل أوتوماتيكي، مما يقلل من التدخل اليدوي؛

نظام التحكم والسلامة: ضبط المعلمات عبر شاشة اللمس، والحماية من الستارة الضوئية، والتوقف الطارئ، بما يتوافق مع مواصفات السلامة SEMI.

3-الميزات التقنية والمزايا الأساسية

دقة مستقرة: انحراف التركيب ≤± 0.5 مم، بدون فقاعات أو تجاعيد، والإنتاجية أعلى بكثير من التشغيل اليدوي؛

التكيف المرن: يدعم السيليكون، وكربيد السيليكون، وأرسينيد الغاليوم، وغيرها من الرقائق، ويمكن تركيب قناع الوجه الأمامي/الخلفي؛

موفرة للتكاليف: يبلغ الاستثمار في المعدات ثلث إلى خُمس الاستثمار في النماذج الأوتوماتيكية بالكامل، مع مساحة صغيرة وصيانة بسيطة؛

سهل التشغيل: بدء التشغيل بنقرة واحدة، ضبط مسبق للمعلمات، الدليل مسؤول فقط عن التحميل والتفريغ، مما يقلل من عتبة المهارة؛

التوافق النظيف: الجهاز بأكمله مصنوع من مواد مضادة للكهرباء الساكنة ومنخفضة انبعاث الغبار، وهو مناسب لبيئات الغرف النظيفة من الفئة 100/الفئة 1000.

4- سير العمل القياسي

تحديد موضع التحميل: ضع الرقاقة يدويًا على طاولة العمل المفرغة من الهواء، وامتصها وثبتها؛

نقل مواد الغشاء: يقوم الجهاز تلقائيًا بسحب الغشاء اللاصق لتغطية الرقاقة والإطار المعدني؛

الربط بالضغط: يتم الضغط على الأسطوانة/الوسادة الهوائية بشكل موحد لإطلاق الهواء، مما يضمن الالتصاق الكامل بين الفيلم والرقاقة؛

القطع الدقيق: يقوم الجهاز بقطع الفيلم تلقائيًا على طول محيط الرقاقة، مع الحفاظ على الهوامش المناسبة؛

تقطيع ولف المواد: يتم إخراج المنتج النهائي يدويًا، وتقوم المعدات تلقائيًا بلف الفيلم التالف والدخول في الدورة التالية.