إن إضافة المزيد من الطاقة إلى مادة غازية ، مثل التسخين ، سينتج بلازما. متى هم تصل إلى حالة البلازما ، وانشطار الجزيئات الغازية عدد كبير من الجسيمات النشطة للغاية. هؤلاء لا تكون الانقسامات دائمة ، ولكن بمجرد اختفاء الطاقة المستخدمة في تكوين البلازما ، تتحد الجسيمات لتشكل جزيئات الغاز الأصلية. مختلف عن التنظيف الرطب ، تعتمد آلية البلازما على "التنشيط" إجراء "لـ المادة في "البلازما حالة "إلى إزالة سطح الكائن البقع. من نقطة ciew من بين طرق التنظيف المختلفة ، يعتبر تنظيف البلازما أيضًا أكثر طرق التنظيف شمولية من بين كل طرق التنظيف

ماذا يكون منظف ​​البلازما ؟ يستخدم تنظيف البلازما عمومًا الليزر ، والميكروويف ، وتفريغ الهالة ، والتأين الكهروحراري ، وتفريغ القوس ، وطرق أخرى لإثارة الغاز بلازما

في الاستخدام العملي ، مع مراعاة تكلفة الإنتاج والاستقرار العملي ، منقى ADC (مضغوط هواء) و O2 و N2 بشكل عام ، بينما الأرجون يستخدم فقط في بعض المناسبات الخاصة. هذا يتم تحقيقه باستخدام حركة الجذور الحرة للأكسجين في البلازما لتحقيق سطح محب للماء. متى هذا تتشكل المحبة للماء ، وتتحد المجموعة الخالية من الأكسجين في البلازما مع الكربون الموجود على سطح الركيزة للمنتج CO2 ، وبالتالي إزالة المادة العضوية

تقنية تنظيف البلازما الفعالة لمعالجة الأسطح يمكن إزالة الملوثات العضوية على أسطح المعادن والسيراميك والبلاستيك والزجاج ، ويمكن أن تغير بشكل كبير قوة الالتصاق واللحام لهذه الأسطح. ال يمكن التحكم في عملية التأين بسهولة وتكرارها بأمان. يمكن القول أن العلاج الفعال أمر بالغ الأهمية لتحسين موثوقية المنتج أو كفاءة العملية ، كما أن تقنية البلازما هي أيضًا التقنية الأكثر مثالية في الوقت الحاضر. من خلال تنشيط السطح ، يمكن لتقنية البلازما تحسين خصائص معظم المواد : النظافة ، الألفة للماء ، التنافر المائي ، الالتصاق ، الوسم ، التزليق ، التآكل.

تستخدم بلازما توهج الغاز ذات الضغط المنخفض بشكل رئيسي في تنظيف البلازما التطبيقات. بعض غير متماسك غازات غير عضوية (Ar2، N2، H2، O2 إلخ) يتم تحفيزهم عند التردد العالي والضغط المنخفض لإنتاج العديد من الجسيمات النشطة بما في ذلك الأيونات والجزيئات المثارة والجذور الحرة وما إلى ذلك بشكل عام في تنظيف البلازما ، يمكن تقسيم الغاز المنشط إلى فئتان ، الأولى هي إدخال بلازما الغاز (مثل Ar2 ، N2 ، إلخ). نوع آخر من البلازما هو الغاز التفاعلي (مثل O2 ، H2 ، إلخ). هؤلاء الجسيمات النشطة تتفاعل مع المادة السطحية في العملية التالية : التأين - جزيئات الغاز - إثارة - جزيئات مثارة - تنظيف - تفعيل السطح.

في الوقت الحاضر ، اتجاه تكنولوجيا التجميع هو أن SIP ، BGA و CSP حزمة تجعل أجهزة أشباه الموصلات تتطور نحو نمذجة ، تكامل عالي و تصغير. في عملية التعبئة والتجميع هذه ، تكمن المشكلة الأكبر في التلوث العضوي لمرشح الربط وغشاء الأكسدة المتكون في التسخين الكهربائي. نظرًا لوجود الملوثات على سطح الترابط ، فإن قوة الترابط لـ هذه تنخفض المكونات وتقل قوة التنقير للراتنج بعد التغليف ، الذي يؤثر بشكل مباشر على مستوى التجميع وتطوير هذه المكونات. من أجل تحسين هذه تجميع هؤلاء المكونات ، نحن نحاول بكل الوسائل التعامل معها.

ال مبدأ إنتاج البلازما على النحو التالي :

كما يمكن رؤيته من في الشكل أعلاه ، يتم تطبيق مجموعة من الأقطاب مع جهد تردد الراديو (التردد حوالي عشرات ميغا هرتز) ، و عالي التردد يتشكل المجال الكهربائي المتناوب بين الأقطاب الكهربائية. تحت إثارة المجال الكهربائي المتناوب ، يولد الغاز في المنطقة بلازما. ال البلازما النشطة لها تأثير مزدوج للقصف الفيزيائي السطحي والتفاعل الكيميائي على الجسم لجعل المادة الموجودة على سطح الجسم المراد تنظيفها الجسيمات والمواد الغازية التي يتم تفريغها بالمكنسة الكهربائية لتحقيق الغرض من التنظيف.

ال عملية تنظيف علاج تنظيف البلازمايمكن تقسيم إلى عمليتان في المبدأ.

العملية 1 : إزالة المواد العضوية

ال الأول هو استخدام مبدأ البلازما لتنشيط جزيئات الغاز :

O2 → س + O + 2e- ， س + O2 → O3 ， O3 → س + O2

ثم ، o و O3 تستخدم للتفاعل مع مادة عضوية لتحقيق الغرض من استبعاد المواد العضوية

العضوية : + O ، O3 → co2 + h2o

العملية 2 : تفعيل السطح

ال الأول هو استخدام مبدأ البلازما لتفعيل جزيئات الغاز :

O2 → س + O + 2e- ， س + O2 → O3 ， O3 → س + O2

ثم تنشيط سطح o و O3 تحتوي على الأكسجين تستخدم المجموعات الوظيفية لتحسين خصائص الالتصاق والترطيب للمواد ، ويكون التفاعل كالتالي :

R • + O • → RO •

R • + O2 → ROO •