ال آلة تركيب الرقاقات يُعدّ هذا المنتج من المعدات الأساسية في تصنيع أشباه الموصلات. يُستخدم لتغليف الرقائق الرقيقة بدقة بالغة باستخدام غشاء أزرق/أشعة فوق بنفسجية، مما يوفر الدعم والحماية. ويُستخدم في حالات مثل تثبيت الرقائق، ودعم التقطيع المسبق، والربط المؤقت للتغليف ثلاثي الأبعاد.

مبدأ العمل

١. العملية: يستخدم الذراع الآلي شفطًا فراغيًا لالتقاط الرقاقة وتثبيتها بالضغط في وسط مادة الفيلم الممدد مسبقًا. يجب ألا تكون هناك فقاعات أو تلوث بالجسيمات. في بعض الحالات، يلزم التسخين عند درجة حرارة ٦٠-٨٠ درجة مئوية لتعزيز الالتصاق. متطلبات الدقة هي إزاحة ≤ ± ٥٠ ميكرومتر وقطر فقاعة ≤ ١ مم.

2. المكونات الرئيسية:

جهاز شفط المواد: يتم استخدام أكواب شفط السيليكون المضادة للكهرباء الساكنة لضمان الشفط الموحد ومنع التلف.

نظام المحاذاة: تحديد المواقع البصرية عالية الدقة باستخدام CCD (تصل إلى ±5 ميكرومتر في عام 2025).

وحدة التحكم في درجة الحرارة: تضمن توحيد التدفئة عند درجات الحرارة المنخفضة.

دليل الاستخدام:

١. المعالجة المسبقة: يجب أن تكون الرقاقة خالية من الشظايا والشقوق. يجب أن يكون ارتفاع نقطة الحبر أقل من ٢٥.٤ ميكرومتر، وأن يكون عمق الخندق في الرقاقة المحفورة أقل من ١٠ ميكرومتر.

٢. اختيار مادة الفيلم: عادةً ما يُستخدم فيلم أزرق ذو قوة التصاق تتراوح بين ٨٠ و٩٥ ميكرومتر. أما بالنسبة للرقائق فائقة الرقة، فيُستخدم فيلم UV منخفض الإجهاد. يُرجى تخزين الأفلام وفقًا للوائح.

٣. مواصفات التشغيل: شغّل الجهاز بدون تحميل لمعايرة نظام المحاذاة. بعد التصفيح، اترك الرقاقة لمدة ٥ دقائق قبل نقلها.

٤. معالجة الشذوذ: بالنسبة للفقاعات، دحرجها بأسطوانة خالية من الغبار. في حالة وجود إزاحة، نظّف أكواب الشفط وعاير جهاز CCD. في حال وجود إزاحة مستمرة، تحقق من تزييت سكة التوجيه.

التقدم التكنولوجي في عام 2025

1. التوافق مع أحجام متعددة: تتوفر منصات التغيير السريع لدعم الإنتاج المختلط لرقائق مقاس 6/8/12 بوصة، مما يتيح التبديل الفعال.

2. التعديل الذكي: تعمل خوارزميات الذكاء الاصطناعي على تحسين المعلمات، مما يحقق عائدًا بنسبة 99.7% ويقلل من التصحيح اليدوي.

3. تكيف الفيلم مع الأشعة فوق البنفسجية: تمت إضافة وحدة إشعاع فوق بنفسجي جديدة لدعم تبديل مواد الفيلم القابلة للانقسام الضوئي.

الصيانة والسلامة

قم بتنظيف المعدات بشكل منتظم، وفحص أكواب الشفط وعدسات CCD، ومعايرة وحدة التحكم في درجة الحرارة، واستبدال الأجزاء المعرضة للخطر في الوقت المناسب.

تأكد من التأريض بشكل موثوق، وتجنب لمس الأجزاء المتحركة والمناطق ذات درجة الحرارة العالية لمنع الصدمات الكهربائية والإصابات الميكانيكية والحروق.