الدقة والجودة أمران حاسمان في صناعة تصنيع أشباه الموصلات. أحد الجوانب الرئيسية لهذه العملية هو حماية رقائق السيليكون الدقيقة في مراحل التصنيع المختلفة. يعتمد مصنعو أشباه الموصلات على آلات تصفيح الرقائق الرقيقة لضمان سلامة هذه الرقائق وحمايتها. تلعب هذه الآلات دورًا حاسمًا في صناعة أشباه الموصلات، حيث تحمي الرقائق من الملوثات الخارجية.
تتمثل الوظيفة الرئيسية لآلة تصفيح الأغشية الرقيقة في وضع طبقة واقية على سطح شريحة السيليكون. تعمل هذه الأفلام كحواجز لحماية الشريحة من الملوثات مثل الغبار والرطوبة وبصمات الأصابع. ومن خلال منع هذه الجسيمات من الالتصاق بسطح الشريحة، تساعد عملية التصفيح في الحفاظ على جودة المنتج وتحسين الإنتاجية في خطوات التصنيع اللاحقة. إن تقليل الحاجة إلى إعادة العمل أو التخلص من الرقائق يؤدي في النهاية إلى خفض التكاليف. تساعد هذه الآلات في تقليل العيوب في عمليات التصنيع والتعبئة اللاحقة. مما يؤدي إلى زيادة العائد الإجمالي وتحسين جودة المنتج.
آلة تصفيح الويفر (عملية تقطيع الويفر)
في عملية القطع بالشفرة، يجب أن يتم ربط الفيلم اللاصق بالجزء الخلفي من الرقاقة.
آلة تصفيح الويفر (عملية ترقق الويفر)
فيلم أزرق للأشعة فوق البنفسجية في آلة تركيب الويفر
1. حماية سطح الرقاقة
أثناء عملية قطع الرقاقة، يكون سطح الرقاقة عرضة للتلف مثل الخدوش والتلوث والأكسدة. الفيلم الأزرق للأشعة فوق البنفسجية يمكن أن يغطي سطح الرقاقة بشكل فعال، مما يشكل طبقة واقية لمنع العوامل الخارجية من إتلاف سطح الرقاقة. وهذا يساعد على تحسين جودة القطع وإنتاجية الرقائق، وتقليل تكاليف الإنتاج.
2. إصلاح موقف الرقاقة
يتمتع الفيلم الأزرق للأشعة فوق البنفسجية بقدرة التصاق قوية ويمكنه تثبيت الرقاقة بقوة على طاولة القطع. أثناء عملية القطع، تحتاج الرقاقة إلى الحفاظ على موضع وزاوية مستقرة لضمان دقة القطع والاتساق. يمكن أن يؤدي التصاق الفيلم الأزرق للأشعة فوق البنفسجية إلى إصلاح موضع الرقاقة بشكل فعال ومنعها من التحول أو الدوران أثناء عملية القطع.
3. تحسين دقة القطع
يتمتع الفيلم الأزرق للأشعة فوق البنفسجية بشفافية جيدة ومقاومة لدرجة الحرارة، ويمكنه الحفاظ على أداء مستقر أثناء عملية القطع. وهذا يساعد على تحسين دقة واستقرار آلة القطع، وتقليل أخطاء القطع. وفي الوقت نفسه، يمكن للطبقة الزرقاء للأشعة فوق البنفسجية أيضًا أن تقلل من تأثير الحرارة المتولدة أثناء عملية القطع على الرقاقة، مما يزيد من تحسين جودة القطع.
4. مناسب للمعالجة اللاحقة
بعد الانتهاء من قطع الرقاقة، يمكن تقشير الطبقة الزرقاء UV بسهولة دون ترك أي بقايا أو تلوث. وهذا يساعد على تبسيط خطوات المعالجة اللاحقة وتحسين كفاءة الإنتاج. وفي الوقت نفسه، يمكن أيضًا إعادة استخدام الطبقة الزرقاء للأشعة فوق البنفسجية، مما يقلل من تكاليف الإنتاج.
5. تطبيق الفيلم الأزرق للأشعة فوق البنفسجية في تصنيع أشباه الموصلات
بالإضافة إلى قطع الرقاقات، فإن الفيلم الأزرق للأشعة فوق البنفسجية له تطبيقات أخرى واسعة النطاق في مجال تصنيع أشباه الموصلات. على سبيل المثال، في عمليات مثل طحن الرقاقات، وتلميعها، ونقشها، يمكن أيضًا استخدام الفيلم الأزرق فوق البنفسجية كطبقة واقية وطبقة تثبيت. بالإضافة إلى ذلك، يمكن أيضًا استخدام الفيلم الأزرق فوق البنفسجي في صناعة المكونات البصرية وأجهزة الاستشعار والخلايا الشمسية.