-
نظم معالجة النيتروجين بالأشعة فوق البنفسجية متعددة آلة تقطيع الويفر 6 بوصاتعلاج رقاقة uv متعددة 6 بوصات في نفس الوقت ، أنظمة علاج شريط فيلم الأشعة فوق البنفسجيةتقليل قوة الالتصاق للجميع حساس للأشعة فوق البنفسجيةشرائط تقطيع تحت بيئة مراقبة.
-
كامل التلقائي النيتروجين uv الشريط آلة علاج منفصلة الأشعة فوق البنفسجية فيلم من رقاقة أشباه الموصلات365nm uv الصمام مربع نوع علاج آلةيمكن تطبيقها على جميع أنواع الشريط الأشعة فوق البنفسجية Debonding (للحصول على ، 6 / 8 / 12 بوصة رقاقة). تصميم مربع خاص لتجنب الأشعة فوق البنفسجية تسرب.
-
نظام المعالجة بالأشعة فوق البنفسجية LED بسكويت الويفر المتعدد السليكون المنفصل عن شريط الأشعة فوق البنفسجية من رقاقة أشباه الموصلاتأنظمة المعالجة بالأشعة فوق البنفسجية LED لتقليل القوة اللاصقة لأشرطة التكعيب الحساسة للأشعة فوق البنفسجية ، الأشعة فوق البنفسجية الفعالة 365 نانومتر ، تحمل رقائق تصل إلى 310 مم